三洋开发成功的制造废水处理设备
时间:2019-03-24 15:05:44 来源:宁布依族苗族自治农业网 作者:匿名


据海外媒体报道,日本三洋电机有限公司与三洋AQUA科技有限公司联合开发了污水处理设备“Slurry Closer”,用于从半导体工厂生产过程中排放的污水的低成本处理。

“浆料闭合器”主要用于处理从化学机械抛光(CMP)过程中排出的污水。 CMP工艺是指通过使用砂布研磨硅晶片的表面,以及使用含有金钢砂作为研磨剂的浆料。因此,排出的污水含有直径为几十纳米或更小的金钢砂和从硅晶片表面磨碎的碎屑。

通过凝结沉淀和过滤,该废水以与其他半导体制造工艺中的废水相同的方式进行处理。但是,由于必须使用大量的凝结剂并且过滤器堵塞,因此工作效率低并且成本高。

三洋电机等公司采用浸渍平膜独立开发超低压过滤技术。通过CMP排水在过滤器上形成凝胶层,并且可以有效且精确地分离成水和颗粒。不仅处理成本显着降低,而且还可以回收可用作再循环资源的颗粒。

未来,三洋电机株式会社将与日本东北大学多材料科学研究所的Nakamura教授共同开发回收固体颗粒的再利用。